阵列式硅压阻压力传感器的研究

摘要：

介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体.

关键词：阵列、压力传感器、CMOS工艺

所属期刊栏目：19

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-18,21