声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状

摘要：

扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就,阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理,简单推导了该传感器输入-输出关系,并对声表面波其他传感器作了介绍.

关键词：声表面波、力学量、传感器

所属期刊栏目：19

分类号：TH82

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3