TiO2/V2O5双层薄膜的TMA气敏特性研究

摘要：

报道了以TiCl4和V2O5为源,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了TiO2/V2O5双层薄膜,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上,进行了X射线衍射(XRD)分析,并且测量其对三甲基胺(TMA)的气敏特性.结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性.

关键词：TiO2/V2O5双层薄膜、等离子增强化学气相沉积、溶胶-凝胶、三甲基胺气敏特性

所属期刊栏目：19

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金69776038;国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：5-6,10