硅微机械陀螺的接口检测技术

摘要：

研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点.在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术.

关键词：微机械陀螺、寄生电容、积分电路、电荷注入、相关双采样技术

所属期刊栏目：18

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：40-42