改进灰狼算法提高数字光刻图像质量的研究

摘要：

图像失真问题是数字光刻系统中很重要的问题,为了优化数字光刻图形质量提出了一种改进的灰狼优化算法(F G W O).采用图形保真度作为适应度函数,掩模图案中的像素被用作灰狼个体,然后以狼群团体合作狩猎机制使掩模图形得到优化.对两种不同复杂度的数字掩模图形的仿真验证表明FGWO算法相比SFL-GWO算法和LGWO算法,图像误差分别降低了82.46％、76.74％和81.46％、75.03％.通过实验结果可以看出,同一实验环境下,FGWO算法优化后掩模光刻图形质量较之SFL-GWO算法和LGWO算法得到了很大的改善.

关键词：图像失真问题、掩模优化、改进灰狼优化算法

所属期刊栏目：45

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：吉林省科技发展计划项目;吉林省科技发展计划项目;吉林省教育厅十三五科学技术研究项目

在线出版日期：2022-12-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：59-66