10.3969/j.issn.1672-9870.2022.05.007
二维动态显微镜的光学系统设计
光电显微镜可实现线纹的自动对准,消除人工测量的主观性误差,具有速度快、效率高、重复性好、精度高的特点.为实现二维线纹的溯源测量,完成对十字刻线、圆形线纹等二维线纹的高分辨率瞄准,在一维动态光电显微镜的基础上,设计了应用于比长仪的二维动态光电显微镜光学系统,包括:物镜成像系统、照明系统、观察系统、分光系统.系统采用物方远心光路,消减由于物平面位置不准确所引起的测量误差;为适应不同线宽、线间距及特殊形状的线纹样板,设计结果:β=5倍、10倍、20倍,工作距5~20 mm,物方线视场2 y=0.2 mm,数值孔径NA=0.2,传递函数接近衍射极限.
光学设计、二维线纹、光学狭缝、光电显微镜
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O439(光学)
国家重点项目2017YFF0204803
2022-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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