X射线超反射镜鲁棒性膜系设计

摘要：

为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化.考虑到X射线光学系统掠入射反射的特殊性,在优化求解的计算过程中加入了入射光发散角对多层膜反射率的影响,进而分别设计了具有掠入射角度带宽和能量带宽的两种X射线多层膜反射镜鲁棒性膜系.结果表明,相比只优化光学性能的传统优化设计方法,鲁棒性设计方法能够得到反射性能良好且对膜厚随机误差不敏感的超反射镜膜系设计.

关键词：多层膜设计;X射线超反射镜;鲁棒性设计;发散角

所属期刊栏目：44

分类号：O434(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目;吉林省科技发展计划项目

在线出版日期：2021-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：6-11