基于BP网络的智能控制器在AFM中的应用研究

摘要：

原子力显微镜(AFM)作为纳米领域重要的研究工具之一,始终起着举足轻重的作用.目前商用的AFM控制系统一般采用PID控制算法实现对压电陶瓷驱动器的精密控制.但是压电陶瓷具有复杂的非线性特性,传统的PID控制器难以实现精密控制,不仅影响AFM的扫描速度,也影响其测试精度.基于目前AFM控制系统的分析研究,将常规的PID算法通过引入BP网络进行优化,应用于原子力显微镜控制系统中可以使AFM获得自学习的能力,从而增强其系统的实时性以及精确性.用Simulink结合系统函数(S-function)实现了AFM在接触以及轻敲两种工作模式下的过程仿真,为其研究提供方便快捷的第一手资料,并基于此构建了AFM系统的仿真平台,并在该平台上对改进后的PID算法进行了验证,最后通过自制单探针系统进行扫描实验.

关键词：纳米技术、原子力显微镜、控制算法、BP神经网络

所属期刊栏目：42

分类号：TP183(自动化基础理论)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省青年科学基金

在线出版日期：2020-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：54-59