TDX-200透射电子显微镜物镜优化设计研究

摘要：

TDX-200透射电子显微镜的点分辨率为0.35 nm,已经不能满足目前的实验与测试需要.鉴于此,以0.25 nm的点分辨本领为优化目标,通过理论计算得到满足目标分辨率时物镜的球差和色差的可接受范围.通过研究物镜结构参数SD对球差和色差等光学特性的影响,确定了球差和色差影响最小时SD的值,并据此确定了物镜下极靴第一锥角的取值.物镜的极靴和磁路设计参照TDX-200透射电子显微镜,极靴和磁路的材料分别选为铁钴合金1J22和电工纯铁DT4c.最终得了满足目标要求的新物镜模型,通过Munro软件对新物镜的光学特性进行了仿真,得到的理论点分辨率为0.247 nm.结果表明,新物镜的结构设计满足0.25 nm的点分辨率优化设计要求.

关键词：透射电子显微镜、物镜、优化设计、极靴

所属期刊栏目：42

分类号：TN14(真空电子技术)

在线出版日期：2019-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44