用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计

摘要：

在应用传统提拉法生长晶体的过程中,经常需要人为实时观察晶体直径的生长变化,从而控制生长温度达到晶体等径生长的目的.根据企业提出的晶体生长监测需求,设计了一款超长工作距变焦显微物镜,实现晶体生长的自动监控.晶体直径的监测范围为0～100 mm,系统采用机械变焦方式,工作波段为3～5 μm,变焦范围为19～90 mm,放大倍率为3～12,变倍比为4倍.系统采用的红外探测器型号为Onca-MWIR-InSb-640,其像元大小为15 μm×15 μm.利用Zemax进行光学系统设计优化,在截止频率34 lp/mm处,各组态像质优良,中心视场和0.707视场处MTF曲线均接近衍射极限,点列图的RMS半径也均小于艾里斑半径,系统各项指标均满足设计指标要求,可以实现对晶体生长过程的高精度监控.

关键词：晶体生长、超长工作距离、变焦显微镜、Zemax

所属期刊栏目：42

分类号：TB811(摄影技术)

资助基金：吉林省发改委产业创新专项资金项目2017C037-1

在线出版日期：2019-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-16,22