NDIR乙烷气体传感器中滤光膜的研制

摘要：

为满足NDIR乙烷气体传感器的使用要求,对气体探测系统中的滤光膜进行研制.根据甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱,红外探测器的响应度以及系统的灵敏度确定了滤光膜的技术参数.选用Ge和Nb2O5分别作为高低折射率薄膜材料,根据拆分技术原理并借助膜系设计软件完成了滤光膜的双面设计,解决了滤光膜截止区域宽,且单面设计膜层应力过大的问题.采用直流脉冲磁控溅射真空镀膜的方法,制备的滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09%,半峰值带宽为301nm,2.5~6.3μm和7.1~10μm的平均透过率为0.13%和0.01%,减小了其余干扰气体的影响,提高了探测系统的信噪比.薄膜样品经过了附着力测试,满足系统使用要求.

关键词：NDIR、光学薄膜、滤光膜、乙烷、气体传感器

所属期刊栏目：42

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：吉林省重大科技攻关专项20140203002GX

在线出版日期：2019-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45