大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究

摘要：

天文观测所使用的光栅为大尺寸中阶梯光栅,其制作方法是利用金刚石刻刀对铝膜进行加工,形成光栅槽形,所以铝膜的质量能够直接影响光栅的性能.铝膜的厚度均匀性是判断铝膜质量的重要指标,以现有的内径1.8米镀膜设备为例,对铝膜的厚度均匀性做理论分析和实验研究,得出了电子束制备铝膜的蒸气发射特性n为4.5,并确定了最佳的真空室布局:蒸发源位置l=500mm,工件架高度h=900mm.在直径680mm的镀膜面积范围内,铝膜的厚度均匀性可以达到± 1%,满足大尺寸天文光栅研制对铝膜厚度均匀性的要求.

关键词：天文光栅、蒸气发射特性、铝膜厚度均匀性

所属期刊栏目：42

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2019-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：49-53