数控气囊式抛光结构设计与非球面加工工艺技术研究

摘要：

非球面光学元件由于具有改善系统成像质量、提高光学性能等特点被广泛的应用于各类光电产品中,因此如何抛光加工出高精度非球面元件成为国内外学者面临的难题.对数控气囊抛光方法抛光非球面元件的工艺进行研究,分析气囊抛光的加工原理,设计气囊式抛光头的结构,并对材料去除函数进行分析.在实验过程中使用硅胶气囊与橡胶气囊对非球面元件进行抛光对比,采用轮廓仪测量非球面面型,并使用高倍放大镜检测表面质量.结果表明,利用数控气囊抛光方法可以加工出光滑的非球面表面,粗糙度为0.9nm,该方法是抛光高精密非球面光学元件的有效方法,且数控气囊抛光工艺具有可扩展性.

关键词：数控气囊式抛光、去除函数建模、结构设计、非球面、高精度

所属期刊栏目：39

分类号：TH706(仪器、仪表)

资助基金：吉林省重大科技攻关专项1040203002GX;国家高技术研究发展计划12349876

在线出版日期：2017-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30