旋涂法制备紫外荧光增强薄膜几种溶剂的比较

摘要：

紫外荧光增强薄膜是一种有效提高硅基探测器紫外响应效率的荧光增强技术.对于旋涂法制备薄膜来说,溶剂的选择很重要,对使用不同溶剂旋涂制备的薄膜分析其紫外光谱透过率,成膜效果和荧光物质分布.四氢呋喃作为溶剂在旋涂的过程中全部挥发,虽不影响紫外光谱的透过率,但荧光物质的分布和表面粗糙度不理想.硝化棉相比于PMMA(聚二甲基硅氧烷,polydimethylsito xane)和PDMS(聚甲基丙烯酸甲酯,Polymethy Imethacrylate)紫外透过率低.PMMA常温状态下为固体,需要使用氯代烃或者芳烃溶解再旋涂,溶解时间较长且成膜效果不好;PDMS为胶体同荧光物质混合后直接旋涂,再加热80℃固化成膜,成膜效果好表面,粗糙度低,且荧光物质分布均匀.

关键词：聚二甲基硅氧烷、旋涂法、荧光薄膜

所属期刊栏目：39

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：吉林省科技发展计划20140201011GX

在线出版日期：2017-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26