量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用

摘要：

针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法（GA）存在的大种群和求解效率低的问题，本文将实数编码量子进化算法（QEA）应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程中。分别采用实数编码GA和QEA对理论仿真的EUV多层膜的X射线掠入射反射谱进行反演拟合和宽光谱EUV多层膜的反射谱进行设计，进而将QEA在EUV多层膜表征和设计方面的性能进行对比分析。分析结果表明，QEA在多层膜的表征方面具有小种群和反演求解效率高的优点，多层膜的膜厚拟合精度可达±0.1nm；在多层膜设计方面，量子进化算法同样具有小种群的优势，同时求解效率较GA算法接近，设计的多层膜反射率带宽为13~15nm，反射率可达25%。相关工作展现出QEA算法在多层膜研发方面的应用价值，为进一步工作打下基础。

关键词：EUV多层膜、量子进化算法、膜系设计

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金青年基金项目61405189；吉林省自然基金项目20150101019JC

在线出版日期：2016-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7