二氧化硅波导马赫-泽德型2×2热光开关损耗对设计与加工精度的依赖性研究

摘要：

用有限差分光束传播法(Three-dimensional beam Propagation Model,3D-BPM)三维模拟技术,系统研究了基于单模波导定向耦合器的马赫-泽德2×2热光开关对器件的设计方法及加工精度的依赖关系.由于器件的光学损耗与器件结构误差有很大的影响,所以将实际测得的加工误差转换为公差后引入到设计中,对器件的性能进行优化,使器件的插入损耗改进到1.5dB以下,即芯片上的光损耗减小到0.5dB以下,隔离度提高到20dB以上,可提高实际产品设计与生产的成功率.

关键词：3dB定向耦合器、马赫-泽德型2×2热光开关、光束传播法

所属期刊栏目：39

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：南京市政府海外人才引进计划项目321工程

在线出版日期：2016-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13