光电显微镜的光学系统设计

摘要：

光电显微镜具有很高的灵敏度,能够消除测量过程中的主观性,提高测量过程的自动化与准确度.为了提高光电显微镜的测量精度,本文采用物方远心的原理设计了一应用于比长仪的物方远心光电显微镜.设计结果:视放大倍率Γ=100倍,物方线视场2 y=0.5mm,数值孔径NA=0.2,分辨率σ=1.68μm,工作距离28.5mm,光学系统波像差小于1/4λ,传递函数接近衍射极限.光电显微镜的光学测量误差小于0.7%.

关键词：光学设计、光电显微镜、放大倍率、比长仪

所属期刊栏目：38

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21