基于数字全息的三维面形测试

摘要：

三维面形测量一直是质量检测和逆向工程等领域的重要研究课题。基于双曝光数字全息干涉术的原理，设计了数字全息记录测试装置，实现了三维面形的非接触测量；基于双光源法，在物光路采用垂直光轴方向移动透镜的方法，代替了直接倾斜反射镜改变照明光束倾角的方法，实现了对物体面形的不同灵敏度测量。基于相移干涉术的原理，实现了四步数字相移法，省去了压电位移器、位相控制器等硬件，简化了装置，从而实现了数字全息三维面形测试。实验表明，该方法操作简单，测量精度高，并且简化了测试光学系统，其在照明光束角度改变量Δβ=0.0382°时的精度可以达到2μm。

关键词：三维面形测试、数字全息、双光源法、四步数字相移法、双曝光全息干涉术

分类号：TN26(光电子技术、激光技术)

资助基金：总装备部预研局十二五基金

在线出版日期：2015-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38