探针对原子力显微镜成像的影响

摘要：

原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）的一个重要应用就是对样品表面的微纳米级尺寸特征进行成像，但在扫描成像的过程中，由于针尖的影响作用，使得扫描所获图像是原子力探针和样品共同作用的结果，而不是样品形貌的真实描述。本文通过用具有不同形状、尺寸针尖的探针对同一样品进行成像，将所得图像进行分析、对比，模拟和实验结果表明，为获得更准确的特征尺寸成像，对有不同特征尺寸的样品，需要选择适合的探针对其实施成像。

关键词：原子力显微镜、特征尺寸、成像、针尖形状

分类号：TP14(自动化基础理论)

资助基金：国家重大基础研究计划973，2012CB326406；欧盟第七研究框架计划LaserNaMi247644；ECNANOMAN269219；国家国际科技合作计划2012DFA11070；国家自然科学基金61176002；教育部博士点基金20112216110002；吉林省科技发展计划201115157，20110704；广东省科技发展计划2011B010700101；长春市科技创新平台11KP04

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：72-75