激光干涉微纳双重结构调制周期的提取

摘要：

为了制备质量更高的微纳双重结构，采用激光干涉光刻技术，分别搭建三光束、四光束和六光束光路进行光干涉，对干涉结果进行图像采集的实验。采用图像处理的方法对采集的图像进行处理，提取了微纳双重结构的调制周期，并与理论周期值进行比较，验证方法的可行性，为后续提取微纳双重结构的其它特征参数奠定了基础。

关键词：微纳双重结构、激光干涉光刻、图像采集、调制周期

分类号：TN911.4

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：65-67,71