一种高精度小孔圆度检测方法研究

摘要：

介绍了一种用于短小孔内表面圆度检测方法。提出基于激光共焦测距原理，应用旋转反射镜转化并消除径向跳动误差及传感器振动误差的新技术。成功地检测了标准孔径表面圆度，实验结果表明，该方法可以使小孔圆度检测误差不大于0.3μm，大大提高了小孔圆度检测的精度。

关键词：圆度、径跳、共焦位移传感器、旋转反射镜

分类号：TH124

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-60,64