复曲面镜抛光工艺技术研究

摘要：

针对Rx为250.7mm，Ry为165.7mm的复曲面透镜，进行了数控研磨和抛光技术研究，给出了批量生产的加工工艺流程，实现了复曲面元件的快速、确定性抛光。通过对复曲面加工的研究，在抛光中对其面型误差进行反馈补偿。最终加工的面型精度小于0.158μm （λ/4），半径公差控制在±0.5mm以内，满足了光学系统中对复曲面元件的要求，并且在保证有较高面型精度和较好表面光洁度的同时，解决了复曲面镜的边缘效应和中心厚度难以控制等加工技术问题。

关键词：复曲面、铣磨、抛光、边缘效应

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,31