10.3969/j.issn.1672-9870.2014.01.007
复曲面镜抛光工艺技术研究
针对Rx为250.7mm,Ry为165.7mm的复曲面透镜,进行了数控研磨和抛光技术研究,给出了批量生产的加工工艺流程,实现了复曲面元件的快速、确定性抛光。通过对复曲面加工的研究,在抛光中对其面型误差进行反馈补偿。最终加工的面型精度小于0.158μm (λ/4),半径公差控制在±0.5mm以内,满足了光学系统中对复曲面元件的要求,并且在保证有较高面型精度和较好表面光洁度的同时,解决了复曲面镜的边缘效应和中心厚度难以控制等加工技术问题。
复曲面、铣磨、抛光、边缘效应
TN205(光电子技术、激光技术)
2014-03-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
25-27,31