10.3969/j.issn.1672-9870.2013.05.018
表面微结构化探测器的灵敏度分析
利用激光干涉光刻技术制备大面积表面微结构的方法对探测器表面进行处理,实验与测试表明,此方法能够增加探测器对信号的吸收率及提高探测器的光电转换效率,达到提高探测器灵敏度的目的。
激光干涉光刻、微纳结构、光电转换效率
TN249(光电子技术、激光技术)
2013-11-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
65-70
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10.3969/j.issn.1672-9870.2013.05.018
激光干涉光刻、微纳结构、光电转换效率
TN249(光电子技术、激光技术)
2013-11-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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