10.6μm激光分束镜的研制

摘要：

本文针对激光分束镜的使用要求，着重介绍了10.6μm处1∶1分光且误差不超过±5%薄膜的研究与制备工艺。根据膜系设计基本理论，分别选取Ge和ZnS作为高、低折射率材料，借助膜系设计软件设计满足要求的膜层，并采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。通过优化镀膜工艺参数，在ZnS基底上制备了10.6μm处（透过率/反射率=49.5∶50.5）满足使用要求的薄膜，膜层具有较好的光学性能，其抗激光损伤、牢固度等性能指标均满足要求。

关键词：薄膜、激光分束镜、离子辅助沉积、牢固度、抗激光损伤

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2013-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40