黄光激光器聚光元件减反膜的研究

摘要：

为满足589nm黄光激光器聚光元件双波段减反膜的使用要求，根据有效界面法设计原理设计膜系，以Ta2O5和SiO2为镀膜材料，使用TFC膜系设计软件对膜系进行优化，运用电子束蒸发方法和离子束辅助沉积方法，在零膨胀玻璃上镀制589nm反射率在2%~3%之间、1064nm反射率小于1%的双波段减反膜，通过膜系结构和工艺参数的优化解决了589nm反射率在2%~3%之间难以控制的问题，获得了符合聚光元件使用要求的减反射薄膜。

关键词：黄光激光器、双波段减反膜、离子束辅助沉积、有效界面法

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然基金资助项目60977052

在线出版日期：2013-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10