硫化锌晶体加工工艺技术研究

摘要：

　　随着军用光学仪器飞速发展，红外光学材料硫化锌（ZnS）广泛应用于红外光学系统中，以Φ35mm的硫化锌晶体为例，对硫化锌晶体加工研磨的工艺过程进行了研究，探讨了硫化锌晶体的抛光技术。通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料，找到了使用数控抛光加工硫化锌晶体的最佳工艺匹配条件，解决了硫化锌晶体表面光洁度难以控制的加工技术难题。经过轮廓检测仪和Zygo干涉仪检测，硫化锌晶体表面光洁度达到III级以上，非球面面型精度能够达到0.2μm，中心偏差小于1μm，各项参数均满足红外光学系统的要求。

关键词：硫化锌晶体、非球面、机械-化学抛光、面型精度、表面光洁度

分类号：TG580.6(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2013-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：120-123,119