单晶硅柱面反射镜的加工与检测

摘要：

　　为了实现大尺寸柱面镜的高精度加工，解决这一领域面临的难题，对单晶硅柱面反射镜的加工和检测方法进行了深入的研究。本文采用古典工艺和现代工艺相结合的方法进行加工。首先，介绍了单晶硅柱面反射镜的加工过程，包括粗磨、细磨、抛光。然后，在此基础上，对抛光盘的制作和抛光液的选择进行了详细的阐述。最后，使用轮廓仪和干涉仪进行面形检验，对面形误差进行了分析。实验结果表明，尺寸为300×150×50mm，半径为4000mm的平凹柱面镜，加工后实际半径为4028mm，面形误差P-V值为0.15μm，光洁度为III级。各项数据均达到了图纸的精度，满足了光学元件的使用要求。

关键词：柱面反射镜、加工、检测、面形误差、干涉仪

分类号：TH706(仪器、仪表)

在线出版日期：2013-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：98-100