光栅信号相位补偿

摘要：

　　光栅测量技术作为高分辨率测量的一种手段，随着超精密加工技术的发展受到人们越来越多的关注。本文提出了一种新的处理方法用于检测和补偿相位，提高光栅传感器的分辨率，减少了细分误差。该方法主要使用向量模式下的CORDIC算法对两路信号的相位进行检测，并获得其它们之间的相位偏差。再用它的旋转模式，补偿相位偏差信号。整个过程只用到基本的加法和移位操作，易于硬件实现。

关键词：光栅传感器、相位补偿、CORDIC

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19