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10.3969/j.issn.1672-9870.2013.03.003

非球面反馈补偿铣磨抛光及工艺参数优化

引用
  通过对口径Φ84mm平凸非球面透镜加工工艺的研究,提出了全口径柔性抛光结合小磨头修正抛光的试验方案。通过实验引入铣磨补偿量来抵消全口径抛光带来的面型误差,并对小磨头修正抛光比较突出的工艺参数进行单因素试验,其中包括小磨头尺寸选择,抛光压力选择。通过改变抛光盘尺寸有效减少了中频误差,优化工艺流程参数后抛光的元件面型精度(PV值)0.49μm,达到中等精度要求。总结出一套效率高,成本低,重复性好的数控研抛非球面方法,可实现中小口径非球面元件大批量快速加工。

非球面、反馈补偿、小磨头抛光、单因素

TQ171.684

工业公关计划项目20103A266

2013-09-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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