点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究

摘要：

在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响.分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点.采用优质航空铝,利用单点金刚石机床和聚焦离子束设备,采用精密制备工艺,分别制备了小孔直径1.47μm和1.11μm的小孔掩模并利用扫描电子显微镜对其进行了检测.实验结果表明,聚焦离子束刻蚀是实现直径微米量级的小孔加工的有效手段,为获得较好的圆度和三维形貌,小孔掩模加工区域需保证较小的深径比.

关键词：光学器件、小孔掩模、聚焦离子束、扫描电镜

所属期刊栏目：35

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家科技重大专项项目2009ZX02202

在线出版日期：2013-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-26,30