轴对称非球面平行磨削Y轴向对刀误差补偿

摘要：

在光学系统中应用非球面光学元件能够提高光学系统设计灵活性,改善光学系统成像质量,缩小光学系统尺寸,在整体上减轻系统质量.本文通过系统分析轴对称非球面元件精密磨削工艺过程中的轴向对刀误差等加工误差因素,建立轴向对刀误差校正方法,并将其运用到轴对称非球面精密磨削与抛光加工过程中.由实验可知:通过误差补偿,加工时间节省60％以上,φ80mm口径非球面抛光后的面形精度PV值为0.62μm(0.982λ),RMS值达到0.093 μm(0.147λ),满足非球面面形精度要求.实验结果验证了理论分析与误差补偿方法的正确性,实现了轴对称非球面光学元件的快速精密加工.

关键词：非球面、精密磨削、误差补偿、面形精度

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分类号：TQ171.684

资助基金：国家自然科学基金资助项目50775014;吉林省省长基金项目20080006

在线出版日期：2012-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-71,58