电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究

摘要：

金属计量光栅通常采用电解加工的方式制作,由于具有传统K9玻璃、浮法玻璃和树脂基片等不可替代的优势,以其100％的透过率,和抗震、防尘、耐高温、耐腐蚀、重量轻的特性,被广泛应用在矿业、冶金、建材、化工、军工等行业中.电解加工是用电解方法使金属阳极溶解,可以获得较高的刻线准确度,但有时粗糙度有所下降.本文主要探讨电解加工对金属计量光栅表面粗糙度的影响,为提高金属计量光栅的表面质量提供机理参考.

关键词：金属计量光栅、表面粗糙度、电解加工、电导率

所属期刊栏目：35

分类号：TH741.6(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新Y00332H100

在线出版日期：2012-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49