计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究

摘要：

计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提.详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考.

关键词：计量圆光栅、制作工艺、刻划精度、均匀性

所属期刊栏目：35

分类号：TH741.6(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新Y00332H100

在线出版日期：2012-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43