摄像模块感光器中分光膜的研制

摘要：

随着摄像技术的快速发展,其仪器精度要求不断增加,对元器件的技术要求也相应提高.标准光源作为摄像模块感光器中的重要组成系统,其中利用薄膜技术改变不同亮度、色度的标准光源就成为新的研究热点.本文针对标准光源中对分光膜的技术要求,研制出450-650nm波段中性分光的分光膜.经反复试验,解决了不同亮度的系列分光膜的设计与制备问题,各膜层蒸镀工艺参数差异问题.最终研制出较为理想的高附着力、稳定的分光膜,并同时满足摄像模块可见波段的技术要求.

关键词：标准光源、分光膜、离子束沉积

所属期刊栏目：35

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：省部产学研结合项目2010A090200006

在线出版日期：2012-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39