日盲型紫外探测系滤光膜的研制

摘要：

针对紫外探测系统利用紫外日盲区的特殊要求,选取HfO2和Mgf2、JGS1三种高低折射率材料组合形式.在石英基底上,采用电子束和离子辅助沉积技术及石英晶体振荡监控厚度方法.对HfO2和JGS1膜电子束沉积工艺进行了研究,对HfO2与不同材料组合的沉积工艺进行了优化,解决了膜层与基底之间附着力的问题,同时改善了Mgf2膜随厚度变化易的龟裂现象.研究了0.24～0.28 μm紫外日盲波段薄膜的沉积工艺和光谱特性问题.

关键词：薄膜、离子辅助沉积、紫外增透、组合工艺

所属期刊栏目：35

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8