10.3969/j.issn.1672-9870.2011.02.002
干涉法在光栅波前检测中的应用研究
主要针对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究.实验光路的搭建基于泰曼干涉仪检测原理,针对凹面光栅检测进行相应的改进,成功获得凹面光栅零级和一级干涉条纹,从而证明了用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行性,为凹面光栅的加工质量检测提供了理论依据.
衍射光栅、凹面光栅、波前检测、波前像差
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O348.12(固体力学)
2011-12-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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