氧在阻氢薄膜TiCx中的行为研究

摘要：

采用磁控溅射和离子束混合技术制备不同C/Ti含量比的TiCx阻氢薄膜,并利用XPS测试手段分析氧在薄膜中的分布及存在方式,进而分析C/Ti含量比和H+辐照对氧行为的影响,以期求得在不影响TiCx薄膜阻氢性能的基础上有效降低薄膜中氧含量的途径,提高薄膜的抗氧化性能,延长薄膜的有效寿命.

关键词：TiCx薄膜、氧、XPS

所属期刊栏目：33

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2011-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：144-146,156