10.3969/j.issn.1672-9870.2010.04.009
一种高倍率激光扩束器准直性调整机构研制
为提高单位面积的激光能量,保证在环境温度变化过程中通过高扩束倍率扩束器的激光束的准直性不被破坏,在小物镜上设计了一套高定心度直线调整机构,使大、小物镜之间的距离可调,从而保证通过扩束器激光光束的准直性不会受环境温度变化的影响.在介绍激光扩束器工作原理的基础上,给出了激光扩束器准直性调整机构的设计方案、调整精度的检测方法及检测结果,最后对检测精度的各种影响因素和检测结果进行了分析.结果表明,激光扩柬器准直性调整机构的同轴精度可达2.2μm,满足扩束器物镜间同轴精度的要求,并且该调整机构设计简单,可以在不同倍率的激光扩束器中得到推广和应用.
调整机构、环境温度、高扩束倍率扩束器、激光束准直性
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TP203(自动化技术及设备)
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目057X22C050
2011-03-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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