静电薄膜反射镜聚光系统设计

摘要：

采用单面镀铝聚酯薄膜作为基底,设计了一种通过控制静电力分布来拉伸薄膜成形的三环多电极300mm 有效口径的反射镜聚光系统.通过计算所需施加分布电势,能够有效控制圆薄膜面形变化实现不同焦距的聚光.并进行了面形成形模拟和聚光模拟,效果良好.为静电薄膜反射镜影响因素的定量研究和面形控制提供了切实可行的平台.

关键词：静电、聚光、薄膜反射镜、多电极、分布电势

所属期刊栏目：33

分类号：TH751;TH704(仪器、仪表)

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目2007AA12Z113

在线出版日期：2010-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：22-24