气体压强对非晶InGaAs薄膜光学常数的影响

摘要：

论述一种用透射谱包络线法计算非晶薄膜的折射率、消光系数和光学带隙的方法.通过正交实验确定除压强之外的工艺参数,研究压强的改变对薄膜主要光学常数的影响,运用最小二乘法、内插值法在matlab编程基础上,拟合出光学常数曲线,借由观察曲线的特点,分析在低工作气压下,气压的改变对光学常数的影响.

关键词：光学常教、包络线法、折射率、消光系数、光学带隙

所属期刊栏目：33

分类号：TN213(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科工委973项目

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-53,7