多无限远目标模拟装置光轴共面测试技术研究

摘要：

提出一种基于激光准直五棱镜回转扫描和CCD技术的非接触检测方法,通过检测三块立板平面度来实现对多无限远目标模拟装置光轴共面度的高精度非接触测量.给出误差评定方法,同时对仪器精度进行分析,通过实验测得共面度为0.039mm,满足精度要求.

关键词：五棱镜、CCD、激光准直、平面度测试

所属期刊栏目：33

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：东光集团

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-28,21