基于光学树脂基片的码盘、光栅盘制作技术研究

摘要：

码盘、光栅盘是光电位移精密测量仪器和光栅计量测试设备中的核心元件.目前,码盘、光栅的基片主要是K9玻璃、浮法玻璃、不锈钢及菲林胶片,但它们无法适应振动强、冲击大等恶劣环境的要求.为了解决上述矛盾,采用新型的材料-光学树脂作为基片进行码盘、光栅盘的制作,通过分析部分光学树脂特别是聚甲基丙烯酸甲酯(简称PMMA)、聚碳酸酯(简称PC)、聚苯乙烯(简称PS)的光学特性,在研究现有光刻复制工艺的基础上,采用新型的制作技术制作出PC树脂基片的光栅盘,在45倍显微镜下观察,线条陡直、无龟裂,试验结果表明该工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以树脂码盘、光栅盘为核心元件的测量仪器和光栅计量设备提供了试验基础.

关键词：光学树脂、基片、码盘、光栅盘、光学特性

所属期刊栏目：32

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院"优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金"资助项目076131G070

在线出版日期：2009-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：189-192