VO2薄膜的制备及其喇曼光谱研究

摘要：

介绍VOz薄膜的结构、性质并采用射频磁控溅射法分别在玻璃、熔融石英以及蓝宝石衬底上沉积了高品质的VOz薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)分析了VO2薄膜的微结构,探索了非理想配比对VO2薄膜的喇曼光谱的影响,讨论了非理想配比导致VO2薄膜喇曼光谱变化的原因.

关键词：VO2薄膜、射频磁控溅射、喇曼光谱、非理想配比

所属期刊栏目：32

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家电力公司东北公司长春超高压局资助项目JG0713

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：146-149