红光Nd:YAG激光器用光学薄膜的研制

摘要：

从产生660nm红光Nd:YAG激光器制作机理出发,分析了其使用的几种光学薄膜,采用光学薄膜理论的矢量合成方法.利用计算机膜系设计软件优化.并经过适当修正后得到便于控制的短波通膜系、二倍频高反射膜系,选择适当的薄膜材料和工艺参数,制备出与理论计算结果相吻合的几种光学薄膜,满足技术指标要求.

关键词：Nd:YAG激光器、光学薄膜、膜系设计、二倍频

所属期刊栏目：31

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家863计划资助项目

在线出版日期：2008-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42