10.3969/j.issn.1672-9870.2008.01.018
玻璃微珠球度测试研究
把光学非接触、高精度的测试技术与电子图像细分(像素)技术相结合,把光电检测方法和计算机数字图象处理方法相结合,研制了显徽-CCD-微机系统,编制了VC++测试和控制软件.利用该系统,实现了微小物体的非接触、高精度、自动测试,解决了微米加工技术中微小物体的尺寸测试问题.作为实例,测试了玻璃微珠(半径17~31μm)的球度.实验表明,通过增大测量显微物镜的放大倍率(例如10倍),测试系统可以满足1μ的精度要求.
显微物镜、数字图像处理、微小物体、高精度、非接触
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O439(光学)
总装备部科研项目
2008-06-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
57-59,56