10.3969/j.issn.1672-9870.2007.03.033
偏流对金刚石膜生长的影响
采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着全刚石膜的生长和质量.用Raman、SEM等手段对全刚石膜的生长特性进行了表征.
金刚石膜、偏流、膜的质量
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O484(固体物理学)
吉林省科技厅科研项目10647104吉教科合字[2005]第85号
2007-11-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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