10.3969/j.issn.1672-9870.2007.02.028
CaF2晶体及加工技术研究
随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战.本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进.通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的caF2光学晶体.
CaF2晶体、切割、抛光、晶体加工
30
O781(晶体生长)
2007-07-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
97-99
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1672-9870.2007.02.028
CaF2晶体、切割、抛光、晶体加工
30
O781(晶体生长)
2007-07-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
97-99
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn