CaF2晶体及加工技术研究

摘要：

随着深紫外准分子激光光刻技术的发展,所用CaF2光学晶体镜头材料的加工对传统的冷加工技术提出了挑战.本文结合CaF2晶体的基本性质,对其加工技术进行了极大的改进.通过控制合适的工艺参数,采用特殊的加工方法可以加工出高质量的caF2光学晶体.

关键词：CaF2晶体、切割、抛光、晶体加工

所属期刊栏目：30

分类号：O781(晶体生长)

在线出版日期：2007-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：97-99