10.3969/j.issn.1672-9870.2006.01.003
硼碳氮薄膜的内应力研究
采用射频磁控溅射技术制备出硼碳氮(BCN)薄膜.傅里叶红外吸收光谱(FTIR)测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合,扫描电子显微镜(SEM)测量发现样品与衬底间存在较大的内应力.样品剥落后,应力的消除使红外吸收峰向低波数移动.实验还发现,对新制备的硼碳氮薄膜进行600℃热处理能有效释放薄膜中的压应力.
射频磁控溅射、硼碳氮薄膜、内应力
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O484.1(固体物理学)
国家自然科学基金59831340
2006-04-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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