平面光电器件的纳米级高速研磨

摘要：

论文探讨了采用固着磨料高速研磨进行纳米级加工的有关问题.采用固着磨料高速研磨加工技术加工光电器件,使工件已加工表面粗糙度达Ra2.88nm, 平面度达19nm,不仅实现了纳米级加工,而且还实现了高效率、低成本加工.

关键词：光电器件、纳米级加工、高速研磨

所属期刊栏目：27

分类号：TG502.35(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2004-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：18-19