光学薄膜制备技术

摘要：

本文综述了光学薄膜制备技术的发展与现状,着重介绍了真空蒸镀、离子辅助沉积、离子束溅射等传统与现代技术,包括工作原理、发展以及应用情况.

关键词：光学薄膜、沉积、溅射

所属期刊栏目：27

分类号：O484.4+1(固体物理学)

资助基金：国家重点实验室基金99J536.3ZS3604

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40